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  • 005452102/2024-00014
  • 发布日期
  • 2024-09-19
  • 主题分类
  • 2024年
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  • 服务对象
以碳化硅新材料为引领助力我市第三代半导体新材料产业提质升级
发布日期:2024-09-19 浏览次数: 浏览
提案号
市政协十届二次会议第324号
提案者
张萍
标题
以碳化硅新材料为引领助力我市第三代半导体新材料产业提质升级
提案内容

党的二十大报告提出,推动战略性新兴产业融合集群发展,构建新一代信息技术、人工智能、生物技术、新能源、新材料、高端装备、绿色环保等一批新的增长引擎。半导体产业是支撑经济社会发展和保障国家安全的基础性、战略性、先导性产业。碳化硅半导体材料具有较宽的禁带,具有较高的击穿电场、热导率、电子饱和速率和抗辐射能力,相比于传统的硅半导体材料,碳化硅材料在微电子、能源、功率器件等领域正逐步展现出巨大的潜力。研究、建立、发展以碳化硅半导体材料为引领的新产业,是抢占未来经济发展制高点的一个重要手段。

一、我市碳化硅新材料产业现状

2023年初,平顶山中宜创芯公司,研发生产的碳化硅半导体芯片材料——碳化硅高纯粉体和碳化硅晶锭成功下线,这不仅标志着我市新能源新材料产业再添“新军”,同时还填补了河南省第三代半导体产业领域的空白。并且,我市也拥有发展半导体新材料必不可少的超纯金属、电子特气、高纯试剂等辅助材料产业;同时尧山实验室也将聚焦第三代半导体(SiC)新材料及其功率器件规模化的研发。我市具备发展以碳化硅为代表的半导体新材料产业的坚实基础。

打造以碳化硅为代表的半导体新材料产业,不仅符合国家、省、市的发展战略,也是平顶山实现高质量转型发展的重要举措。但是我们也知道发展半导体产业,投资大,周期长;我市起步晚,专项政策不足。存在能源、资金短缺;省内横向合作不够,知名度不高;科研人才紧缺、人才之间缺乏协同发力等问题。

二、对策建议

(一)加大政策支持,完善产业链条。培育“梧桐树”,吸引“凤凰”来。研究制定半导体新材料产业发展的专项政策,如厂房、电力、税务优惠,资金扶持,研发激励等,推动财税、能源、金融等政策支持,将平顶山高纯碳化硅粉体的生产做大、做强、做精,吸引全省、乃至全国相关半导体企业到平顶山投资,带动碳化硅单晶衬底、外延片以及相关芯片的设计、封装和应用等环节的发展,助力我市半导体新材料产业的提质升级。

(二)建立互动平台,实现人才协同发力。建设科研人才公示平台,注重“人才协同发力”。依托平顶山市科技局,开辟平顶山科研人才公示平台。每一位科研人才在该平台注册后,发布自己的专业、特长,并实时更新科研成果。企业可以在此平台找到急需人才,解决相关难题,做到人才精准对接、精准扶持;推动高校深化产学研合作,使高校科研人才的科研成果与孵化基地有效对接,进行小试和中试。充分发挥高校科研人才的理论优势和企业科研人才的技术优势,使企业和高校的科研人才可以协同发力,实现“一加一大于二”的效果。

(三)依托尧山实验室,整合研究方向。针对以碳化硅为代表的半导体新材料产业的发展,构建粉体、衬底、芯片、应用等相关方向的研究团队。鼓励企业和高校的高层次人才加入团队,发挥个人专长。在实验室的统筹管理下,各自开展与碳化硅半导体材料相关的研究。由市财政提供科研经费,效仿国家自然科学基金和省自然科学基金的运作模式,对优秀的团队和项目进行经费支持,推动建立碳化硅半导体新材料产业的科研人才库和丰富知识储备。

(四)打造服务平台,壮大科研力量。以尧山实验室为基地,建设半导体新材料测试公共服务平台。半导体新材料的研发过程中,材料的表征、性能的测试等,对相关科学研究者具有重要的意义。将尧山实验室打造成新材料表征、性能测试的公共服务平台,有利于吸引全省乃至全国的科学研究人员到尧山实验室开展科学研究。利用尧山实验室的优势,并优化高层次人才的引进政策,为其配偶提供适当的工作,保障孩子入托、入学,以及购房给予优惠等,吸引半导体新材料方面的高层次人才到平顶山“安家落户”,同时也会吸引部分高新企业到平顶山建设研究中心,共同助力发展以碳化硅为代表的半导体新材料产业。

承办单位
科学技术局
办理结果
A
答复内容

张萍委员:

市政协十届二次会议第324号提案“以碳化硅新材料为引领助力我市第三代半导体新材料产业提质升级”已收悉。现结合平顶山市产业发展现状,将有关办理意见回复如下:

一、产业发展现状

平顶山市半导体产业发展基础较好、特色鲜明,是市委、市政府重点培育发展的12个产业链之一。近年来,在省市联动、政企协同推动下,半导体新材料产业呈现纵横双向拓展、多维突破的良好局面。

一是发展势头强劲。2023年,产业链13家重点企业实现销售收入28.73亿元,同比增长54%,五星新材半导体石墨产能、市场份额“双第一”,中科瑞景电子特气氧化亚氮技术、产能国内领先,易成新材超纯碳化硅粉体产品质量国内一流,孕育出一批具有较强技术引领能力和市场影响力的领军企业。

二是重大项目进展顺利。中国平煤神马控股集团和平顶山发展投资集团共同出资设立河南中宜创芯发展有限公司,投资20亿元、建设年产2000吨碳化硅半导体粉体生产线,达产后年产值5亿元、国内市场占有率30%。目前,实现500吨粉体稳定生产能力,8英寸碳化硅单晶晶锭填补省内空白,在国内二十多家企业和研究机构开展试用和验证。同时,信瑞达长晶炉石墨热场、纳芯微芯片制造用化学品进厂验证实现预期;五星新材“年产7万吨半导体用高纯石墨”项目完成环评、能评。

三是创新生态初步显现。尧山实验室与国家第三代半导体技术创新中心(苏州)战略合作,聚焦先进碳化物陶瓷基复合材料、第三代半导体(SiC)材料及功率器件等方向开展研究。盟会长单位中宜创芯与浙江大学杭州国际科创中心签订合作框架协议发挥双方优势,共同开展碳化硅半导体粉体行业标准制定、科技创新、成果转化、平台建设、人才培养等方面的合作。五星新材半导体石墨、信瑞达光刻机用纳米微孔碳复合材料进入华为等头部企业供应链、生态链。国玺超纯谋划与中原金属实验室何季麟院士团队合作建设平顶山超纯金属中试基地,与省科学院化学所合作开展“芯片制备用电解液”“超纯钴”研发,提升科技成果中试熟化能力;与金昌铜业、洛阳汇晶(中硅集团子公司)等共同谋划下延产业链深度合作,争取三年内实现产值10亿元。

四是提质园区建设。河南电子半导体产业园一期建成标准化厂房6栋,定制房产2栋,综合楼、科创孵化中心、科研楼各1栋。入驻园区的长驰电子器件封测项目主体封顶、设备进场,预计年底投产达效。市政府出台《关于支持河南电子半导体产业园高水平建设的若干意见》,对落地的产业链项目在厂房优惠、装修补贴、资金扶持、设备补贴、电价补助、鼓励、上市融资、人才引进及全程代办等方面给予全方位支持。

二、存在问题

(一)生产要素保障有短板。中国平煤神马集团投资1亿元,利用既有绿电指标,接入集团24MW/96MWh储能电站,建设“源网荷储”一体化供网系统,10月底投运后可望形成5亿度年供电能力,基本能满足2000吨粉体项目用能需求。但是,伴随长驰电子“年产20亿颗电子功率器件”项目3季度建成投运,河南电子半导体产业园用能保障压力较大,不利于后续项目招引落地。同时,新华区高新技术产业园也存在用能缺口的情况。

(二)资金需求有缺口。产业链中民营企业是重要力量,除东方碳素北交所上市、五星新材进入沪深主板市场上市辅导期,融资渠道畅通外,大多数企业处于项目建设期或产能释放前期,加之产品验厂周期长等因素,虽然产业园代建基础设施,但资金压力普遍存在,传统融资渠道难以提供有效保障。

(三)产业供应链融合仍较弱。我市半导体新材料产业链主要集中在原料、耗材端,链长盟会长单位中宜创芯、新国玺半导体公司虽然对我市该产业链发展基本形成支撑能力,与山西烁科、绿能芯创、杭州乾晶等上下游一流创新资源持续加强合作,在晶锭、晶圆、封装测试研磨材料、装备等领域着力协同创新,夯实产业链延伸项目布局不断推进。但是本土企业有机融入链长盟会长单位供应链还较弱、关联度不高;盟会长企业规模总体不大,带动能力不够。

三、下一步重点工作

认真贯彻落实省、市产业链工作部署,坚持科技创新引领,厚植创新生态,加速推动重大科技成果产出转化,用科技创新“关键变量”催生新质生产力,实现企业技术驱动型发展,积极嵌入全省产业生态圈关键环节,提质现代化产业体系构建,力争到2025年,实现全产业链规模达到100亿元的发展目标。

(一)科学谋划发展路径。编制产业发展报告,以原材料和耗材为主线,结合产业发展规律和我市产业承载力,全景图谱式展示产业创新资源,为产业决策、招商引资、研发研判提供科学参考。

(二)提升核心竞争力。一是强化创新主体培育。以研发有效全覆盖为切入点,引导企业通过工艺、技术迭代升级,延伸产品链、拓宽发展赛等,激发创新活力,赋能从生产型向研发驱动型转变。二是打好核心技术攻坚战。发挥联合研发基金作用,省市联动,在半导体碳化硅、电子靶材、半导体石墨等领域实施一批重大科技项目,放大先发优势、夯实发展基础。重点支持中宜创芯联合尧山实验室、浙江大学杨德仁院士团队、浙大宁波理工学院开展国产碳化硅成套技术攻关和工业化的专项课题研究,提升产品稳定性和工艺效率,夯实晶锭项目布局及吸引下游产业集聚发展的基础,打造全国最大的碳化硅半导体材料基地。

(三)营造创新生态。一是推动产业重大创新平台建设。指导中宜创芯依整合碳化硅精细微粉国家认可实验室、省先进碳化硅材料重点实验室等域内外创新资源,创建省半导体碳化硅中试基地,提升科技成果熟化能力,孵化科技型中小企业。二是实施科技合作。支持中宜创芯、萱飞圣、信瑞达等深化与绿能芯创、杭州乾晶等上下游一流创新资源合作,在碳化硅衬底、湿化学品、电子封装基板及材料、长晶炉热场材料、半导体封装测试等领域协同创新,积极融入国内外产业链,拓展新发展空间。三是加速重大项目落地转化。强化服务保障、统筹协调,推动国防科技大学“碳化硅纤维”和省科学院“芯片制备用电解液”“超纯钴”等战略新材料重大科技成果落地转化,依托产能规模纵横拓展产业链。

(四)壮大园区经济。用好市委、市政府“四个拜访”工作成果,指导相关县(市、区)园区专班做好跟进服务,拜访国家第三代半导体技术中心国家半导体产业技术创新中心(山西)江苏第三代半导体研究院等产业先行区,借鉴先进经验,加速推动半导体碳化硅晶锭和研磨膏、切磨抛整套生产线等项目落地,促进与厦门三安、瀚天天成、深圳基本半导体等碳化硅基功率器件封装测试项目合作,聚企成链打造产业集聚效应,打开产业提质增效新空间。

(五)强化要素保障。指导卫东区政府推动河南电子半导体产业园向管委会转变,提速园区建设,完善基础配套设施保障,支撑重大项目落地。重点做好中国平煤神马集团依托卫东区200MW风电项目,建设全钒液流储能电站,为后续项目建设提供低成本能源保障服务。

2024年6月24日

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